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深圳市東信高科自動化設備有限公司
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等離子清洗機
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8寸晶圓等離子去膠機

產品型號:TS-PR08

產品簡介: RIE反應離子刻蝕模式,處理速率更高

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產品參數:

型號 TS-PR08等離子去膠機
適用尺寸
8寸及以下晶圓(可定制)
反應氣體
3路,(氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體)
真空測定系統
皮拉尼真空硅管
工作真空度
30Pa以內
氣體流量控制
0-500mL/min MFC氣體質量流量計精確控制流量
等離子電源
13.56MHz/1000W連續調節
電極固定方式
水冷固定電極
有效處理尺寸
φ210(mm)
電極尺寸
Φ230(mm)
設備外形尺寸
W635×D665×H1250(mm) 不含三色燈高度
水冷機 1P
電源
AC220V,50/60Hz

產品介紹:

低成本、高性能、實驗性等離子去膠機,手動裝載晶圓片,應用于單片晶圓光刻膠灰化、殘膠去除及表面清洗工藝,適用于大學、硏究院所、企業硏發機構及小批量生產廠商。

?處理方式:RIE模式

?樣片數量及尺寸:單片8英寸以下

?刻蝕材料:Si、SiO2、SiN、Poly-Si、GaAs、Pt、聚酰亞胺等各種材料的蝕刻

?刻蝕腔體:高真空系統

 ?刻蝕不均勻性:±3%-±6%

?刻蝕速率:0.1-1um/min (視具體材料與工藝)

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