產品參數：
| 型號 |
TS-PL10MA |
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真空腔規格 |
材質316不銹鋼 |
| 腔體尺寸 |
L200mm*W270mm*H200mm |
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電極 |
平板氣浴電極 材質6061-T6鋁合金 |
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功率電極 |
1 |
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接地電極 |
1 |
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電極尺寸 |
180mm *230mm（最大可處理產品尺寸規格） |
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頻率 |
13.56MHz |
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功率 |
0-300W連續可調，精度1W,可在設備運行中隨時調整參數 |
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氣體控制 |
精密針閥式浮子流量計， 0-1000ml |
| 氣體通道 | 2路（可增加） |
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真空度測量儀器 |
2色顯示式高精度數字式壓力開關（SMC） |
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控制方式 |
4.3寸工業控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式 |
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控制軟件功能 |
界面顯示實時工作狀態 |
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電極板配置 |
配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調整，可按需求調整極板位置 |
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設備規格尺寸 |
長500mm 寬550mm 高800mm |
產品特點：
? 卓越的密封性腔體:采用進口316不銹鋼腔體，軍工級的高真空度真空腔體設計及制造工藝。
? 高密度等離子電源技術：采用進口等離子電源電路技術，確保出眾的清洗效果。
? 獨有放電技術：特殊處理的放電裝置，確保形成穩定均勻的等離子體。
? 高精度氣體流量監測系統：兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體），雙路氣流控制，比例可調，采用MFC質量流量計、氣體管路及閥件。
? 優質產品部件：產品部件采用國內外頂尖優質品牌，確保設備性能優越。
? 數字計時單元：1-9999s選擇范圍時間顯示，處理過程結束后自動終止。
? 適用形狀復雜樣品：清洗各種復雜形狀的產品，包括內孔內壁，全方位均勻清洗。
? 處理全程無污染 ：等離子清洗機本身是很環保的設備，無產生任何污染，處理過程也無產生任何污染。
